稱為TOPAZ P1 / P2 / P3的新激光系統(tǒng)可以配備各種激光源,包括紅外,綠色或紫外波長范圍內(nèi)的納秒,皮秒和飛秒激光器,可以從基板側(cè)或薄膜側(cè)完成。該公司聲稱每天的吞吐量超過10000個基板,300條劃線的周期時間為10秒。
據(jù)說工作區(qū)域上升2400 mm x 1300 mm,支持2 mm至4 mm范圍內(nèi)的基板厚度。 “當然,客戶可以在工作區(qū)域范圍內(nèi)要求特定尺寸,”4JET銷售總監(jiān)Benjamin Bopp告訴雜志。
該系統(tǒng)具有具有“單個路徑跟蹤”功能的激光子系統(tǒng)設計,Bopp說這與其他功能有關,例如單個自動對焦以及每個處理光束的單獨功率平衡。
“例如,在其他概念中,只有一個傳感器用于多個激光束,這會導致設計不準確。來自光源的激光束在加工頭中分成多個激光束。由于光束分裂在現(xiàn)實生活中從來都不是完美的,這會導致功率分布不均勻,因此劃線結(jié)果不均勻,“Bopp說。
每個激光單元都有自己的傳感器、功率電平設置和聚焦光學器件。根據(jù)Bopp的說法,這些功能導致更精確的測量和更多的測量點,這反過來意味著更精確,一致的劃線,以及減少劃線之間的非生產(chǎn)區(qū)域的潛力,即所謂的盲區(qū)。
根據(jù)制造商的說法,系統(tǒng)設計還具有能夠使劃線更緊密地靠在一起而不會增加交叉風險的好處,從而減少焦點位置的不準確性,并淡出線條,尤其是在模塊的邊緣。
新解決方案的功率要求為 400Vac、63 A,工廠車間占地面積為 7500 mm³ x 5650 mm³ x 2300 mm³,包括外圍設備。
據(jù)Bopp稱,第一批客戶正在中試生產(chǎn)線生產(chǎn)中使用新系統(tǒng),并訂購了幾個用于批量生產(chǎn)目的的系統(tǒng)。